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半导体工业领域的产品系列

气体制冷机-PTLQ系列直冷型低温制冷机-PTZL系列 chiller高精度冷热循环器-PTS系列 chiller高精度换热温控单元-PHE系列精密冷水机-TLS系列小型高低温动态控温系统-SMART系列高低温动态控温系统-PTHC系列气体冷凝回收机组-SCR&LCR系列

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高精度温度控制器在半导体行业中的应用

恒温恒流恒压冷水机：高效稳定的制冷解决方案

SCR&LCR系列气体冷凝回收机组

SCR&LCR系列气体冷凝回收机组，相比较于传统的吸附式、焚烧式等处理方式，低温冷凝回收方式具有安全性高、处理效果好、节省投资、使用方便等优势。

更新时间：2025-07-02

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PTHC系列高低温动态控温系统

PTHC系列高低温动态控温系统适用于需要快速加热和降温的外部应用，对玻璃反应釜、金属反应釜、生物反应器等进行升降温、恒温控制，材料测试，尤其适合在反应过程中有吸热、放热过程控制。

更新时间：2025-07-02

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SMART系列小型高低温动态控温系统

SMART系列小型高低温动态控温系统适用于需要快速加热和降温的外部应用，对玻璃反应釜、金属反应釜、生物反应器等进行升降温、恒温控制，材料测试，尤其适合在反应过程中有吸热、放热过程控制。

更新时间：2025-07-02

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TLS精密冷水机

TLS精密冷水机：使用温度范围：5~85℃，配有加热器，属于制冷加热一体机。型号按加热功率命名，加热功率在1.5~25kW之间。精密冷水机可以满足精确控温的需求，也可以根据客户要求选配流量计和压力传感器。本产品适用于半导体制造装置、分析检测装置等发热部分的冷却及温度的控制。

更新时间：2025-07-02

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Chiller高精度换热温控单元PHE系列

Chiller高精度换热温控单元PHE系列采用PID控制技术，高清触摸屏显示，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热，向外界输送载热流体，满足工艺条件要求。

更新时间：2025-07-02

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Chiller高精度冷热循环器PTS系列

Chiller高精度冷热循环器PTS系列主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP精确控温领域，激光、医疗和精密实验室温控方案。

更新时间：2025-07-02

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