Chiller高精度冷热循环器PTS系列主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP精确控温领域，激光、医疗和精密实验室温控方案。

产品型号：

更新时间：2025-07-02

厂商性质：生产厂家

访问量：121

服务热线

021-51602552

立即咨询

产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION

半导体工业领域的产品系列

气体制冷机-PTLQ系列直冷型低温制冷机-PTZL系列 chiller高精度冷热循环器-PTS系列 chiller高精度换热温控单元-PHE系列精密冷水机-TLS系列小型高低温动态控温系统-SMART系列高低温动态控温系统-PTHC系列气体冷凝回收机组-SCR&LCR系列

与其他冷却设备相比，恒温恒流恒压冷水机更具优势

星空XK·(中国)体育官方网站半导体温度测试发展趋势

产品介绍

Chiller高精度冷热循环器PTS系列产品，可实现对设备出口温度的精准控制，控温精度在±0.1℃以内。产品主要应用于半导体制程中CVD/PVD、Etch和IMP精确控温领域，激光、医疗和精密实验室温控方案。全系列采用全直流变频压缩机，磁力耦合泵，电子膨胀阀节流装置，西门子控制器，压缩机及主要制冷部件均采用国际的品牌，产品稳定性高。循环系统包括循环泵、电加热管、膨胀容器、排气阀、单向阀、热电阻、管道等组成。控制系统采用PID控制技术，高清触摸屏显示，设有多项保护功能，确保设备安全运行。通过机组自身的制冷与加热，向外界输送载热流体，满足工艺条件要求。

chiller高精度冷热循环器-PTS系列_01.jpg