星空XK·(中国)体育官方网站 -高低温探针台测试技术参数

四、电学测试兼容性

• 测试信号范围：
  需兼容直流（DC）、低频交流（AC）、射频（RF）等信号，射频探针台需标注 工作频率范围（如 DC-110GHz），并提供对应的阻抗匹配（通常为 50Ω）。

• 泄漏电流：
  低温环境下需控制探针台的漏电流 ≤10⁻¹²A，避免干扰微弱信号测试（如半导体器件的反向漏电流）。

• 接地电阻：
  要求 ≤0.1Ω，减少接地噪声对测试的影响。

五、光学观察系统

• 显微镜放大倍数：
  通常为 10-500 倍 连续可调，部分配备 金相显微镜或红外显微镜，用于观察样品表面和探针接触状态。

• 视场范围：
  与放大倍数对应，低倍时视场大（如 10 倍下视场直径≥10mm），高倍时用于精细对准（如 500 倍下视场直径≥0.5mm）。

• 照明方式：
  明场、暗场、荧光照明等，确保在高低温环境下（可能有冷凝 / 结霜）仍能清晰观察。

六、机械结构参数

• 系统稳定性：
  振动振幅 ≤0.5μm（在 10-200Hz 频段），避免外界振动影响探针接触稳定性。

• 工作台承重：
  样品台最大承重通常为 1-5kg，满足不同尺寸样品或夹具的放置需求。

• 外形尺寸与重量：
  常规尺寸约 1000×800×1500mm（长 × 宽 × 高），重量 500-1500kg，需考虑实验室空间和承重要求。

七、其他辅助参数

• 控制系统：
  支持计算机软件（如 LabVIEW、自定义软件）或触摸屏操作，可预设温度曲线、自动记录数据。

• 安全保护：
  过温保护、真空 / 气体泄漏报警、探针过载保护等，确保设备和样品安全。