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Chiller
产品简介：

Chiller主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，装置由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成，采用先进的控制算法，提高了chiller的稳定性、控温精度和反应速度。在带负载的情况下控温精度可达±0.5℃，可在-20℃~85℃之间任意控温，有良好的温度稳定性。

产品型号：

更新时间：2024-11-09

厂商性质：生产厂家

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产品介绍
　　一、产品概述：
　　半导体Chiller主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温，装置由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成，采用先进的控制算法，提高了chiller的稳定性、控温精度和反应速度。在带负载的情况下控温精度可达±0.5℃，可在-20℃~85℃之间任意控温，有良好的温度稳定性。
　　半导体chiller由制冷，加热单元，循环，控制系统组成，全密封结构对环境友好，产品系统多，控温范围广，智能化控制软件，加热制冷速度快。
 
　　二、产品分为： 
　　1.单通道系列
　　2.双通道系列
　　3.三通道系统

 

　　三、半导体Chiller细节展示：

  

  

　　四、半导体chiller参数说明：
  名称 参数 名称 参数 名称 参数
1 单通道系列 -20℃~+80℃ 双通道系列 -45℃~+40℃ 三通道系列 -20℃~+50℃
2 温度范围 ±0.1℃ 温度范围 ±0.2℃ 温度范围 ±0.1℃
3 精度 2kw@-10℃ 精度 11kw@-20℃/5kw@-40℃ 精度 15kw@-10℃
4 冷却能力 3kw 冷却能力 2kw 冷却能力 2kw
5 加热能力 20LPM@0.6MPa 加热能力 17LPM@0.6MPa 加热能力 30LPM@0.85MPa
6 流量 Rc3/4" 流量 Rc3/4" 流量 Rc3/4"
7 端口大小 15~20°C 端口大小 15~20°C 端口大小 15~20°C
8 温度范围 15LPM 温度范围 30LPM 温度范围 30LPM
9 所需流量 Rc1/2" 所需流量 Rc1/2" 所需流量 Rc3/4"*2
10 端口大小 0.3~0.7MPa 端口大小 0.3~0.7MPa 端口大小 0.3~0.7MPa
11 进口压力  / 进口压力  / 进口压力  /

五、产品图片展示：

 　　六、我们的优势：

   

 

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